ï»?!DOCTYPE html> 8寸晶圆减薄è{å?- ‹z›é˜³ä¼ é¡ºæœºæ¢°è®‘Ö¤‡æœ‰é™å…¬å¸
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                8寸晶圆减薄è{å?/h1>

                8寸晶圆减薄è{å?/a>åQšZCS-260QD0045åž?b>气静压电主èáu


                1、主要技术指æ ?/span>


                2ã€?主要¾_‘Öº¦æŒ‡æ ‡

                ①ã€?转台回è{¾_‘Öº¦â‰?0.1um                    â‘¥ã€?轴向刚性≥350N/um

                ②ã€?动åã^衡精度等¾U§â‰¤ G0.4                   â‘¦ã€?轴向最大承载≥2500N

                ③ã€?动态全速度范围内振åŠ?V â‰?0.1mm/s       â‘§ã€?径向刚性≥125N/um

                ④ã€?噪声全速度范围å†?â‰?50 dB               â‘¨ã€?径向最大承载≥2500N

                ⑤ã€?主èáu外壳最高温å?â‰?10 â„?              â‘©ã€?重量 130KG

                 

                3、特性曲¾U?nbsp;



                4、外形图


                相关标签:直驱­‘…精密气静压转台,8寸晶圆减薄è{åîC­hæ ?/a>,8寸晶圆减薄è{台批å?/a>,

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