ï»?!DOCTYPE html> 高功6/8/12寸复合减薄è{å?- ‹z›é˜³ä¼ é¡ºæœºæ¢°è®‘Ö¤‡æœ‰é™å…¬å¸
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                高功6/8/12寸复合减薄è{å?/h1>

                高功6/8/12寸复合减薄è{収ͼšZCS-400QD01åž?b>气静压电主èáu

                1、主要技术指æ ?/span>


                2ã€?主要¾_‘Öº¦æŒ‡æ ‡

                ①ã€?转台回è{¾_‘Öº¦â‰?0.1um                    â‘¥ã€?轴向刚性≥500N/um

                ②ã€?动åã^衡精度等¾U§â‰¤ G0.4                   â‘¦ã€?轴向最大承载≥3500N

                ③ã€?动态额定速度范围内振åŠ?Vâ‰?.1mm/s       â‘§ã€?径向刚性≥200N/um

                ④ã€?噪声全速度范围å†?â‰?50 dB               â‘¨ã€?径向最大承载≥2600N

                ⑤ã€?主èáu外壳最高温å?â‰?10 â„?              â‘©ã€?重量 240KG

                 

                3、特性曲¾U?nbsp;


                4、外形图

                相关标签:直驱­‘…精密气静压转台,高功6/8/12寸复合减薄è{åîC­hæ ?/a>,高功6/8/12寸复合减薄è{台批å?/a>,

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